检查精密零件表面是否有凸凹的方法是利用薄膜干涉法.薄膜干涉又称为等厚干涉,原因是厚度相等的地方,光程差一样、干涉情况一样,即某一处反射回来的两列波叠加,光振动加强,产生亮点,那些与这处厚度相等的地方都是亮点,它们连起来组成亮条纹.在其它厚度处两列波叠加,光振动减弱,产生暗条纹,因此厚度变化情况决定了条纹的形状.
如果被测表面是平整的,它与标准样板间形成一个厚度均匀变化的“楔形”空气薄膜,于是它的单色光干涉条纹为与交线平行、等间距、明暗相间的条纹.可以这样设想,让一个“小矮人”头顶薄膜的上表面,脚在薄膜的下表面上走动,要求他头总与上表面接触,脚又不能“腾空”,人又不能弯曲(厚度不变),此人在平整平面上将走的是一条直线(对应条纹线),如图1A′B′处为一直亮条纹.如果某处有“凹陷”,如图中P处,此人再也不能沿直线走,在“凹陷”处将向薄膜薄的那侧绕行,不然在“凹陷”处将“腾空”或头将脱离上表面,如图C′D′为一弯曲的亮条纹;如果某处有部分凸起,此人只能向厚的那侧绕行.因此“凹陷”处条纹将向薄的那侧弯曲,凸起处条纹将向厚的那些弯曲.
这种方法,与生活实际联系紧密,容易被接受.
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